Anwendungshintergrund:
Eine Wafer-Sortiermaschine ist ein wichtiges Gerät in der Halbleiterfertigung, das zur automatischen Klassifizierung und Sortierung von Wafern nach vordefinierten Qualitätsstandards verwendet wird. Sie bewertet Wafer anhand von Sichtprüfungen, elektrischen Testergebnissen und anderen Kriterien und trennt dann automatisch gute Wafer vom Rest. Das System integriert typischerweise eine fortschrittliche Sichtprüfungseinheit und automatisiertes Materialhandling, wodurch gleichzeitig eine hohe Inspektionsgenauigkeit und ein hoher Durchsatz gewährleistet werden. Wafer-Sorter werden häufig in IC-, optoelektronischen und anderen elektronischen Bauteilproduktionslinien eingesetzt, um die Automatisierung zu erhöhen, menschliche Fehler zu reduzieren und eine gleichbleibende Endproduktqualität und -zuverlässigkeit zu gewährleisten.

Lösungsübersicht:

• Hauptsteuerung: Siemens SPS

• Prozesssegment: Wafer-Klassifizierung und -Sortierung

• Projekt-E/A-Konfiguration: 3RS-PN2 + 916DI + 916DO + 18AI

• Jährliche Nutzung: Ca. 300.000 E/A-Punkte

Projektbeschreibung:
Dieses Projekt verwendet eine Siemens S7-1200 SPS als Kerncontroller, kombiniert mit mehreren E/A-Modulen, um ein effizientes und zuverlässiges Wafer-Sortiersteuerungssystem zu bilden. Die SPS empfängt Signale von verschiedenen Feldsensoren, einschließlich Lichtschranken, Wegsensoren, Temperatursensoren und Entscheidungsergebnissen des Sichtprüfungssystems, um die Waferoberflächenqualität und die Umgebungsbedingungen in Echtzeit zu überwachen. Basierend auf diesen Daten steuert die SPS präzise Laserscanvorrichtungen, Transferroboter und Sortieraktoren und erreicht so Hochgeschwindigkeitsinspektion, automatische Sortierung und präzises Entladen.

Durch dieses intelligente Überwachungs- und Steuerungssystem verbessert der Wafer-Sorter die Sortiereffizienz erheblich und gewährleistet gleichzeitig die Genauigkeit und Wiederholbarkeit der Inspektionsergebnisse, was eine starke Unterstützung für die stabile Massenproduktion bietet.

Anwendungsvorteile:

• Unterstützt mehrere Wafergrößen und Tray-Formate und bietet flexible Panel-Optionen;

• Modulare E/A-Kombination ermöglicht eine einfache Erweiterung entsprechend der Linientaktzeit und den Stationsanforderungen;

• Hochpräzise Inspektion und stabiles Sortieren reduzieren manuelle Eingriffe und verpasste Defekte;

• Zentralisierte SPS-Verwaltung ermöglicht rezeptbasierte Prozesssteuerung und historische Datenprotokollierung für vollständige Qualitätsrückverfolgbarkeit.