Verbesserung der Effizienz der Waferreinigung mit Remote-E/A-Modulen der Decowell RB-Serie
Hintergrund in der Industrie
Bei der Herstellung von Halbleitern müssen Siliziumwafer eine Reihe von Präzisionsprozessen durchlaufen, z. B. Schneiden, Kantenmahlen, Lappen, Oberflächenbehandlung, Polieren und epitaxielles Wachstum.Diese Schritte lassen unweigerlich die Oberflächen der Wafer mit Partikeln kontaminiertDie Waferreinigungsphase spielt eine entscheidende Rolle bei der Beseitigung dieser Verunreinigungen, um den Ertrag und die Zuverlässigkeit der Endprodukte zu gewährleisten.Der Prozess erfordert nicht nur Präzision, sondern auch Stabilität und intelligente Steuerung, um Produktionsverluste und Kontaminationsrisiken zu minimieren.
Projektübersicht
Um den hohen Anforderungen der modernen Waferreinigung gerecht zu werden, integriertOmron PLC als primäre Steuerung, kombiniert mit einer individuellenE/A-Konfigurationmit DecowellsRemote-E/A-Module der RB-SerieDie Einrichtung umfasst:
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3 × RB-1110 Bus-Kopplungen
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3 × 16DI-Module
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3 × 16DO-Module
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1 × Analog-Eingangsmodule (AI)
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1 × Analog-Ausgangsmodul (AO)
Diese Konfiguration ermöglicht die Echtzeit-Datenerhebung und -Kontrolle über kritische Reinigungsparameter, einschließlich des Betriebszustands der Geräte, des Flüssigkeitsdrucks und der chemischen Konzentrationen.
Decowell RB-Serie: Kompakt, effizient und zuverlässig
Die Remote-E/A-Module der Decowell RB-Serie sind so konzipiert, dass sie den hohen Leistungsbedürfnissen der automatisierten Prozesssteuerung gerecht werden.Ultra-schlanke FormfaktorundDINSchienenfreundliche KonstruktionDie RB-Serie ermöglicht eine schnelle Einführung auch in räumlich begrenzten Schränken.Echtzeitüberwachung und FerndiagnostikDie Techniker werden dabei unterstützt, Anomalien wie instabilen Druck oder falsche Dosierung zu identifizieren, ohne dass eine Vor-Ort-Kontrolle erforderlich ist.
Diese Echtzeit-Sichtbarkeit auf den Zustand des Systems sorgt für eine schnelle Reaktion auf Abweichungen, minimiert Ausfallzeiten und hilft bei der Aufrechterhaltung einer optimalen Reinigungsleistung für jede Wafer-Charge.die modulare Architektur der RB-Serie unterstütztflexibler Ausbau, so dass die Hersteller die E/A-Skala an verschiedene Produktionslinien und zukünftige Upgrades anpassen können.
Auswirkungen der Anwendung
mit einem Jahresverbrauch von mehr als100,000 Einheiten, hat sich die Decowell RB-Serie als einrobust, skalierbar und kostengünstigKunden berichten von einer erhöhten Prozesstransparenz, einer verbesserten Auslastung der Anlagen und einer verkürzten Wartungszeit.Die Integration unterstützt auch die Verbindung auf höherer Ebene, die eine reibungslose Kommunikation mit SCADA- oder MES-Systemen ermöglicht, um eine wirklich intelligente Fabrikinfrastruktur aufzubauen.
Schlussfolgerung
In präzisionsgesteuerten Branchen wie der Halbleiterherstellung muss die Automatisierungs-Hardware sowohl Zuverlässigkeit als auch Flexibilität bieten.Die Remote-E/A-Lösung der Decowell RB-Serie erfüllt nicht nur die technischen Anforderungen komplexer Waferreinigungsprozesse, sondern verbessert auch die Systemintegration, Skalierbarkeit und langfristige Wartbarkeit was es zu einer zuverlässigen Wahl für die intelligente Fertigung der nächsten Generation macht.