DECOWELL RS-Serie I/O ermöglicht ein intelligentes Steuerungssystem für den Photoresist-Beschichtungsprozess

In hochpräzisen Branchen wie Optoelektronik, Halbleiter und Mikroelektronik spielt das photoresistente Beschichtungsprozess eine entscheidende Rolle in der Photolithographie.Da die Nachfrage nach schnelleren Produktiterationen und einer strengeren Ausbeutekontrolle zunimmt, müssen die Beschichtungsanlagen auf intelligentere, flexiblere und zuverlässigere Steuerungssysteme ausgerichtet werden.

Fotoresistente Beschichtung: Präzision erfordert eine intelligentere Steuerung

Bei diesem Verfahren wird ein funktioneller Film gleichmäßig auf ein lichtempfindliches Substrat aufgetragen, um eine genaue Musterübertragung während der nachfolgenden Expositions- und Entwicklungsphasen sicherzustellen.Umweltfaktoren wie die Temperatur, Feuchtigkeit und Beschichtungsdicke müssen kontinuierlich überwacht und genau kontrolliert werden, um qualitativ hochwertige Ergebnisse zu erhalten.

In einem jüngsten Projekt hat der Kunde eine Siemens S7-1200 PLC als Hauptsteuerungsanlage übernommen und mit den Profinet-E/A-Modulen der RS-Serie von Decowell integriert.Das System löste wichtige Herausforderungen wie verschiedene Signaltypen., mehrere Kontrollpunkte und platzbeschränkte Layouts durch die Implementierung einer dezentralen, flexiblen I/O-Lösung.

Lösungsmerkmale: I/O-Module der RS-Serie + Siemens PLC + Profinet-Kommunikation

Systemkonfiguration:

• Hauptstation:1 × RS-PN2

• Digitale Eingänge:4 × 16DI

• Digitale Ausgänge:4 × 16DO

• Analog-Eingänge:1 × 8AI

Das gesamte System kommuniziert über Profinet mit der Siemens-SPS, um Echtzeit-Sensordaten zu sammeln und Kerngeräte wie Rührmotoren, Sprühgeräte und Heizmodule zu steuern.Gewährleistung einer optimierten Beschichtungsqualität und Prozessstabilität.

Warum wählen Sie Decowell RS-Serie Distributed I/O?

1. Flexible verteilte Installation
   Module können in der Nähe von Feldgeräten installiert werden, wodurch die Kabellänge und die Verkabelungszeit erheblich reduziert und der gesamte Einsatz optimiert wird.

2. Hohe Kompatibilität mit Mainstream-SPS
   Die vollständige Unterstützung des Profinet-Protokolls ermöglicht eine nahtlose Integration mit Siemens und anderen wichtigen PLC-Systemen, wodurch die Entwicklungszeit reduziert und die Zuverlässigkeit gewährleistet wird.

3. Genaue Kontrolle kritischer Prozessparameter
   Analogmodule überwachen wichtige Variablen wie Temperatur, Luftfeuchtigkeit und Beschichtungsdicke, um optimale Prozessbedingungen in Echtzeit aufrechtzuerhalten.

4. Skalierbarer Einsatz mit stabiler Lieferkette
   Mit einem Jahresvolumen von mehr als 30.000 Einheiten wurde diese Lösung in mehreren High-End-Produktionslinien für elektronische Materialien mit nachgewiesener Stabilität und Leistung weit verbreitet.

Zusammenfassung der Ergebnisse

Durch die Implementierung der I/O-Module der Decowell RS-Serie konnte das Beschichtungssystem folgende Ergebnisse erzielen:

• Echtzeitüberwachung von Umwelt- und Prozessparametern

• Genaue Steuerung mehrerer Aktoren

• Moduläres Systemdesign für einfachere Upgrades

• Verbesserte Beschichtungsuniformität und Produktertrag

Da sich die intelligente Fertigung beschleunigt, werden flexible, skalierbare und wartungsfreundliche Steuerungssysteme bei der Modernisierung von Produktionslinien unerlässlich.Die verteilten I/O-Module der Decowell RS-Serie werden schnell zur bevorzugten Wahl für fortschrittliche photoresistente Beschichtungsanwendungen.