Automatische Steuerungslösung für Halbleiterbeschichtungsausrüstung

Automatische Steuerungslösung für Halbleiterbeschichtungsausrüstung

Hintergrund:
In der Halbleiterindustrie sind Beschichtungsmaschinen im Photolithographie-Prozess unerlässlich, die für die Aufbringung von Photoresisten oder anderen funktionalen Materialien auf Wafer oder Substrate verantwortlich sind.Verwendung von Spin- oder SprühbeschichtungsverfahrenDiese Maschinen bilden einheitliche und stabile dünne Folien, um die Mustergenauigkeit zu gewährleisten.und hochgenaue PositionierungssystemeSie verfügen häufig über automatisierte Lade-/Entladearme und Echtzeit-Feedback-Steuerungssysteme, um die Produktionseffizienz zu verbessern und eine gleichbleibende Beschichtungsqualität zu gewährleisten.

Lösung:

• Hauptkontrolleur:OMRON PLC

• Anwendbares Verfahren:Beschichtung

• Konfiguration der Projekt-E/Ausgabe:MTC-EWG-A-2-A16-L-10-08-S-D + MTC-200H-D*2

• Jahresverbrauch:1 Million Stück

In diesem Projekt integriert der Kunde eine OMRON-SPS mit den MTC-Ventilinseln von Decowell, um ein kompaktes und effizientes pneumatisches Steuerungssystem für Beschichtungsausrüstung zu bauen.Magnetventile fahren Zylinder, um die vertikale und horizontale Bewegung der Sprühdüse genau zu steuernZusätzliche Zylinder treiben die automatischen Lade- und Entladearme an, die die Substrate zwischen dem Beschichtungssystem und dem Fördersystem transportieren.

Das System beinhaltet E/A-Module in der Ventilinsel, die eine einfache Verbindung von Positionssensoren und magnetischen Schaltern ermöglichen.mit modularer ArchitekturDas System bietet eine hervorragende Skalierbarkeit und Flexibilität, um unterschiedliche Ausrüstungskonfigurationen zu erfüllen.

Anwendungsvorteile

• Eine hohe Integration reduziert die Verkabelung und spart Platz

• Erweiterbare E/A-Module für zukünftige Systemupgrades

• Genaue Bewegungssteuerung für Sprühdüsen und Handhabungsarme

• Stabile und effiziente Leistung für die Produktion in großen Mengen